芯片失效分析檢測/IC集成電路失效分析檢測
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商品參數
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檢測類型 芯片失效分析檢測/IC集成電路失效分析檢測
檢測平臺 百檢網
檢測報告 中英文
檢測周期 7天
檢測范圍 全國
商品介紹
芯片失效分析的作用是針對異常芯片(信號檢測錯誤)進行失效點定位,并結合芯片的原始設計情況判斷芯片失效的機理。做失效分析需要全面的知識,電子、工藝、結構、材料、理化等很多方面都會涉及到。

檢測項目:

芯片失效分析IC集成電路失效分析中:

開封,3D-OM,C-SAM/SAT,2DX-Ray,3DX-Ray,SEM-EDX,OBIRCH/EMMI,RIE,Nanoprobe,ESD(HBM,MM,Latch-up),AFM,SIMS,TOF-SIMS,TEM,XPS,I-V,C-V

檢測范圍:

集成電路、芯片

檢測標準:

GJB548B-2005

芯片失效分析方法:

01.OM顯微鏡觀測,外觀分析

02.C-SAM/SAT(超聲波掃描顯微鏡)

(1)材料內部的晶格結構,雜質顆粒,夾雜物,沉淀物。

(2)內部裂紋。

(3)分層缺陷。

(4)空洞,氣泡,空隙等。

03.無損檢測,X-Ray檢測IC封裝中的各種缺陷如層剝離、爆裂、空洞以及打線的完整性,PCB制程中可能存在的缺陷如對齊不良或橋接,開路、短路或不正常連接的缺陷,封裝中的錫球完整性。(這幾種是芯片發生失效后首先使用的非破壞性分析手段),其中有2DX-Ray和3DX-Ray。

04.SEM掃描電鏡/EDX能量彌散X光儀(材料結構分析/缺陷觀察,元素組成常規微區分析,精確測量元器件尺寸)。

05.取die,開封使用激光開封機和自動酸開封機將被檢樣品(不適用于陶瓷和金屬封裝)的封裝外殼部分去除,使被檢樣品內部結構暴露。

06.OBIRCH/EMMI(微光顯微鏡/OBIRCH鐳射光束誘發阻抗值變化測試)/Thermal熱點偵測(這三者屬于常用漏電流路徑分析手段,尋找發熱點,LC要借助探針臺,示波器)

07.切割制樣:使用切割制樣模塊將小樣品進行固定,以方便后續實驗進行。

08.去層:使用等離子刻蝕機(RIE)去除芯片內部的鈍化層,使被檢樣品下層金屬暴露,如需去除金屬層觀察下層結構,可利用研磨機進行研磨去層。

09.FIB做一些電路修改,切點觀察。

10.ProbeStation探針臺/ProbingTest探針測試。

11.ESD/Latch-up靜電放電/閂鎖效用測試(有些客戶是在芯片流入客戶端之前就進行這兩項可靠度測試,有些客戶是失效發生后才想到要篩取良片送驗)這些已經提到了多數常用手段。

除了常用手段之外還有其他一些失效分析手段,原子力顯微鏡AFM,二次離子質譜SIMS,飛行時間質譜TOF-SIMS,透射電鏡TEM,場發射電鏡,場發射掃描俄歇探針,X光電子能譜XPS,L-I-V測試系統,能量損失X光微區分析系統等很多手段,不過這些項目不是很常用。

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